光刻机研发团队那边，很大一部分时间，都在研发各种配套零部件、材料等，这些零部件跟材料，很多在国外都无法采购到，或者采购到的不合格，只能靠自己研发，尤其是进行改进！ 尤其是，雷射系统、物镜系统、工作台、掩膜版、光刻胶、镜头等……」 (本章完)