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第812章 光刻工厂试验成功,颠覆性的技术再(4 / 6)

当晶圆精准对接至双工作台的瞬间,屏幕上的对位误差数字立刻就跳出了一个精准数字。

0.05μm!

这个数字是什幺意思呢,相当于头发丝直径的千分之一!

很快,光斑在晶圆表面上开始移动,如同用纳米级的刻刀在绘制电路图案。

小小的一枚晶片,看上去可能还没有小拇指指甲大,但是放到高精显微镜下,就能看到密密麻麻的电路图案。

只有看到这个场景,才会知道晶片上所存在的技术是何等强大。

设备运行发出的低鸣声,在安静无比的指挥大厅里面变得刺耳起来。

只不过,在场的众人都没有嫌弃这个声音,甚至于连呼吸都不敢大声,害怕会有影响。

第一片被曝光完成的晶圆被送到显影机,光刻胶经显影液处理后,电路图案逐渐显影。

当晶圆从设备中送出时,测试主管快步上前,用机械臂将其转移至电子显微镜下。

屏幕上,28nm的电晶体阵列整齐排列,线条边缘光滑如镜,没有一丝毛刺。

「线宽均匀度98.7%!」测试主管的声音带着颤抖,「符合设计标准!」

控制中心里响起第一阵压抑的掌声,随即又迅速安静起来。

因为真正的「大考」还在后面,接下来的蚀刻、离子注入、金属沉积……还有100多道工序,任何一步失误都会让前面的努力功亏一篑。

时间一分一秒过去,晶圆在不同车间流转,控制中心的屏幕上实时更新着每道工序的参数:蚀刻深度误差≤2%,离子掺杂浓度均匀性≥99%,金属布线良率95%……

数据曲线像一条绷紧的弦,时高时低,却始终在合格线以上徘徊。

因为整个流程不是一两个小时就能完成的,所以领导们是专门抽出了一天的时间,留在这里,要亲眼看到光刻工厂的正式投产的情况。

如果出现问题,就要立即找出问题,并解决。

如果成功的话,那就立刻汇报上去,这将会成为又一个领先全球的技术,极大地增强我们的话语权和竞争力。

到了中午的时候,是专门送来的盒饭,而不是专门去外面吃。

就连休息,也是临时征用了工厂的员工休息区。

「下午的化学机械抛光(cmp)是关键,表面平整度要控制在0.5nm以内。」

「别忘了检测金属互联层的接触电阻,这直接影响晶片性能。」

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