「我们用超构透镜的极限精度,实现了4nm的理论解析度。
但你试图用传统的静态被动稳定方法,不管是隔绝振动还是恒温恒湿去驯服它。
我们花无数时间去调试,去追求一个理想中永恒不变的完美焦点。」
林燃擡手,指了指空气,似乎他们眼前就有cg-1光刻机一样。
「但cg-1的透镜组,永远不可能像asml的纯石英镜片那样稳定。
它的材料、它的结构,注定对环境更敏感。
无论是从现在,还是从长远来看,我们都必须放弃绝对稳定的幻想,转向动态补偿。
「我们用超构透镜的极限精度,实现了4nm的理论解析度。
但你试图用传统的静态被动稳定方法,不管是隔绝振动还是恒温恒湿去驯服它。
我们花无数时间去调试,去追求一个理想中永恒不变的完美焦点。」
林燃擡手,指了指空气,似乎他们眼前就有cg-1光刻机一样。
「但cg-1的透镜组,永远不可能像asml的纯石英镜片那样稳定。
它的材料、它的结构,注定对环境更敏感。
无论是从现在,还是从长远来看,我们都必须放弃绝对稳定的幻想,转向动态补偿。