泽尔尼克系数是量化光学系统像差的标准数学工具。
其中z4项，就代表了离焦，这正是由色散差导致的核心像差之一。
何修军熟练地操作软体，对当前的干涉图样进行高速采集和分析。
十几秒钟后，结果跳出！
「z4值是……-0.042λ。」
何修军的声音由于兴奋而显得尖锐：
「对比我们之前最成功的消色散方案，这套三透镜系统在同等焦距下的实测z4值减少了差不多三分之一……」
减少三分之一，这很重要。
但还不是最重要的。
「而且，」张汝宁补充道，「这套系统的体积，只有传统消色散组件的不到五分之一！」
更紧凑的体积和更简单的结构，相当于给物镜组的其它部分留出了更高的自由度。
显然，他们成功了。
这不仅仅是数据的胜利。
还是为突破asml在光刻技术上的封锁，打开了一扇充满希望的窗……
不对。
何止是开窗。
这是把房顶都给掀了……
就在众人沉浸在初步成功的喜悦中时，气密门再次滑开。
一名测试人员探进头来：「栗教授，有电话找，常院士的。」
正在跟另外几人讨论结果的栗亚波一愣，接着匆匆离开。
但仅仅几分钟后，又去而复返。
「各位！」栗亚波打断了讨论和庆祝。「常院士让我立刻通知大家，尽快去顶楼会议室集合！」
张汝宁脸上的笑容瞬间收敛，严肃起来：
「栗教授什幺事这幺急？」
他看了看旁边的设备，还有电脑屏幕上的数据：「实验方面还有些收尾和重复验证……是需要所有人都过去幺？」
「老师说，他找到了一种全新的理论方法！」
可能是因为之前一路跑过来的缘故，栗亚波的呼吸有些急促：
「可以替代现有体系，对偏振像差进行描述和理论解释。」
此话一出，就连正坐在电脑前分析数据的何修军都停下了手上的动作，转过头来看向栗亚波。
「替代琼斯矩阵？」
不止一个人脱口而出。
在传统光学系统的成像过程中，大多是将光看做标量处理，而忽略其矢量特性。
但在投影光刻物镜中，当数值孔径na不断增大