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第1620章 从40nm到27nm的跨越(2 / 4)

他下意识地就想说些「欢迎领导视察指导」之类的场面话,但到了嘴边却又猛地卡住——

眼下可是在火炬实验室的地盘上,自己身为临时来此工作的合作方,做出欢迎表态似乎有喧宾夺主之嫌。

结果僵在原地,一时不知如何是好。

一股微妙的尴尬瞬间弥漫开来。

「栾主任,刚刚被提升起来的那两个模组,就是我们专门给smee arf-1800光刻机研发的物镜系统,还有作为对照组的arf-1500物镜」

又是常浩南及时开口,把众人的注意力转移到了旁边的测试平台上。

无形的压力瞬间消失,张汝宁如蒙大赦,立刻接上话题:

「我们刚刚进行的测试,就是在193nm的duv光源条件下,对比新旧两种物镜方案的性能……」

栾文杰并非光学系统或者半导体出身,之前也没看过光刻机被大卸八块之后的样子,所以下意识来到体积更大的1500模组旁边,左右看了一圈然后才瞄向另一边体积更加紧凑的1800模组。

「体积大了这幺多?」

显然,他是把更大的模组当成了更先进的。

当然传统上,光刻系统的物镜组也确实是性能和体积成正比。

只不过常浩南的路子实在不同寻常。

张汝宁赶紧解释:

「我们采用了火炬实验室提供的负折射材料,结合常院士提出的『折反镜一体设计』理念,大大简化了物镜组的光学设计。」

听到「简化」两个字,栾文杰才意识到自己把目标给搞反了。

好在还没把脸给丢出去,所以又故作沉着地踱步到更小的那个模组旁边,微微俯身,似乎想从眼前繁复的结构中找出些许相似之处。

只是理所当然地失败了。

「传统的折反式物镜组内部包含超过三十片精密镜片,用于校正像差、色差,并尽可能提升数值孔径……不仅结构复杂,体积和重量很大,而且其中的反射元件对于加工精度的要求非常苛刻。」

张汝宁进一步介绍道:

「而在更新的1800物镜组里面,大部分功能被集成在少数几片核心镜片上,独立光学元件的数量缩减到14个,所以体积比老型号小了一半以上……」

「……」

就在这时,一直坐在控制电脑前的何修军突然站了起来。

「张组长,最新一组测试数据已经处理完成!

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