「汤姆，我现在没有精力看这个……告诉我结果，直接点。」
多尼伦理解地点点头，语速加快：「首先，出现在报导背景中的那台光刻设备，经过图像增强和特征比对，高度确认其型号标识为『arf-1800』。这应该是华夏本土企业，如您所知的上沪微电子集团，在原有arf浸没式光刻技术平台上的叠代升级型号。」
「叠代升级……」奥观海眉头紧锁，他对这些专业设备型号的记忆并不深刻，「不是euv？」
多尼伦摇摇头，解释道，「虽然其核心曝光机柜的体积相比arf-1500或者asml的nxt:1980di有明显缩减，但公开图像的角度过于单一，且缺乏近距离细节，特别是核心光学镜组、工件台运动系统和实时调平反馈等关键部件的清晰视图，所以无法单从外观锁定其类型，不过，arf是典型的duv光源……」
奥观海烦躁地挥了挥手，像是要驱散眼前恼人的烟雾：
「算了，我不想听这些技术细节……汤姆，我只想知道，他们到底是怎幺做到的？」
「去年，就在去年！我们的专家团还信誓旦旦地向我保证，华夏在euv技术路线上至少落后十年，在duv上即便能推进到7nm，良率也绝对达不到经济量产的水平！现在呢？第二条产线都要建了！」
他的声音不由自主地拔高，带着压抑不住的怒火和挫败感。
多尼伦感受到了总统的怒火，赶紧跳到重点：「根据我们目前掌握的情报线索和初步研判，基本可以排除asml或者其核心供应商直接向华夏转让euv核心技术的可能性，泄密的链条和规模都无法支撑如此快速的产业化落地。」
他翻开报告，指向其中一段加粗的结论：
「技术顾问组认为，最大的可能性在于，华夏方面在duv多重曝光路线的关键环节取得了突破性进展，例如ald技术可以在原子尺度精确控制薄膜沉积的厚度和均匀性，这对于多重曝光中作为间隔层或硬掩模的材料至关重要，再结合超高精度的刻蚀技术，有可能将多重曝光的负面效应降到可以接受的程度。」
「多重曝光？」奥观海对这个词有些印象，「我记得……之前也有人提过这种技术路线，但结论是代价高昂，良率无法保证？」
「是的，阁下，这是先天原理所决定的。」多尼伦点点头，随后又补充道，「而且，这种基于duv多重曝光的技术路径存在天然的天花板，随着制程进一步微缩，比如向