落下，擡手轻擦了下湿润的眼角，毫不掩饰堆在脸上的喜悦之情。
旁边的丁顺安，同样内心激动不已。
视线依旧锁定在那台毫米级演示装置上，心情复杂连连感慨。
「从我国开始重点研究光刻机，到现在多少年了，总算实现了可商用的，足以领先世界的核心光源系统，我这辈子没啥遗憾喽。」
「才只是成功验证了核心光源系统，你就没遗憾了，起码也要看到咱们的极紫外光刻机问世。」贺鹏涛笑着接过话茬，跟在丁顺安后面补充了两句。
丁顺安附和道：「有徐总师在，这是迟早的事。」
说完两人转头看向徐铭。
「徐总师，请允许我代表所有光机所人员，由衷向你表示感谢。」贺鹏涛最先开口道：「没有你的物理理论，我们根本不可能这幺快，便攻克稳定功率的极紫外光源。」
「仅这一项理论成果，就起码让咱们少走了几年，甚至十几年的弯路。」丁顺安也没沉默。
面对两位院士的如此称赞，徐铭反应更快，连忙出声回应。
「两位院士言重了，既然这个担子交给我，那我自然会尽最大努力做好。」
「何况后面还有更重要的工作，需要我们大家完成。」
把热烈氛围推向高峰。
接下来的时间，实验室交给了潘耀负责。
继续进行光源实验，好记录更加详细的数据，用于之后极紫外光刻机核心光源系统的组装。
徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士，来到办公室安排后续工作。
「下一步我们微电子装备，就会正式把新的极紫外光源技术，应用到光刻机的核心光源系统上，另外双工件台控制系统和计量检测系统，也都在同步的攻坚中，这些年集团的研究可不是一点成果没有。」
办公室内丁顺安首先发言，在讲到最后一句时，能感受到话语中的自信。
春城光机所擅长光刻机的核心光源系统，微电子装备却是主攻其他部件技术o
尤其作为国产光刻机主力研发团队，肯定在部分领域也有着独到之处，甚至并不落后海外技术多少。
如今最困难的极紫外光源被顺利解决，就好比在两截道路中间的大山中，打通了一条可通行的隧道，当车辆全速行驶起来，距离终点站又岂会远。
贺鹏涛虽来自春城光机所，但对于微电子装备方面的研究还是比较认可的。
尤其现在还进行了